ПРИКАСПИЙСКИЙ ЖУРНАЛ

УПРАВЛЕНИЕ И ВЫСОКИЕ ТЕХНОЛОГИИ

Получение четырехкомпонентных соединений А3В5 методом ионно-лучевого осаждения

Читать Гусев Дмитрий Александрович , Сысоев Игорь Александрович , Катаев Владимир Федорович , Закота Алексей Васильевич  Получение четырехкомпонентных соединений А3В5 методом ионно-лучевого осаждения // Прикаспийский журнал:  управление и высокие технологии. — 2010. — №4. — Стр. 83-88.

Гусев Дмитрий Александрович  - аспирант кафедры физики,  Волгодонский институт филиал Южно-Российского государственного технического университета (НПИ),  dmon_@mail.ru.

Сысоев Игорь Александрович  -  доктор технических наук, профессор,  Северо-Кавказский государственный технический университет,  eianpisia@yandex.ru.

Катаев Владимир Федорович  - генеральный директор,  ЗАО «Институт термоэлектричества» г. Волгодонска,  kvf@volgodonsk.ru.

Закота Алексей Васильевич  - аспирант кафедры нанотехнологий материалов электронной техники,  Северо-Кавказский государственный технический университет,  knat85@bk.ru.

Рассматривается целесообразность применения технологии ионно-лучевого осажде- ния для получения многокомпонентных полупроводниковых соединений. Описаны конструк- ция установки ионно-лучевого осаждения и сопутствующее оборудование. Рассмотрен экс- перимент по получению четырехкомпонентных соединений. Приведены экспериментальные данные.

Ключевые слова: технология ионно-лучевого осаждения,многокомпонентные полупроводниковые соединения А3В5,конструкция установки,эксперимент.